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佑伦IBE离子束蚀刻系统
上海光幸光电科技有限公司
18616359089
Product Details
IBE-200A离子束刻蚀机
•
干法物理刻蚀,纳米级别的刻蚀精度,可刻蚀多种材料
•
应用场合:微纳结构加工,MEMS,光学,太阳能板等领域
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