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半导体设备

佑伦IBE离子束蚀刻系统

上海光幸光电科技有限公司
Product Details

IBE-200A离子束刻蚀机


干法物理刻蚀,纳米级别的刻蚀精度,可刻蚀多种材料

应用场合:微纳结构加工,MEMS,光学,太阳能板等领域