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川盈ATOM Three Platen CMP
上海光幸光电科技有限公司
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ATOM 系列3盘化学机械抛光机是一款用于量产厂晶圆表面抛光
的设备,其性能优越,操作简单。适用于硅基、化合物基及其上
表面绝大部分膜层的抛光。
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